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簡(jiǎn)要描述:自動(dòng)變焦三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus G5是奧地利Alicona公司研發(fā)生產(chǎn)的集微型三坐標(biāo)測(cè)量和表面形貌測(cè)量于一體的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)。InfiniteFocus系列G5/G4/SL,都可用于刀具測(cè)量使用。
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三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus G5
自動(dòng)變焦三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus G5是奧地利Alicona公司研發(fā)生產(chǎn)的集微型三坐標(biāo)測(cè)量和表面形貌測(cè)量于一體的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)。
自動(dòng)變焦三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus G5的突出特點(diǎn):
一款*的3D光學(xué)測(cè)量?jī)x
InfiniteFocus G5整合了微型三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)和表面粗糙度測(cè)量系統(tǒng)所有的功能。
萬(wàn)能和高效
LED環(huán)形燈的設(shè)計(jì),使表面測(cè)量的范圍幾乎不受限制。
高分辨,高可重復(fù)性和可溯源
即使對(duì)于復(fù)雜樣品表面,仍可以獲得高達(dá)10納米的垂直分辨率
高測(cè)量速度
InfiniteFocus的測(cè)量速度可以達(dá)到170萬(wàn)點(diǎn)/秒。
模塊化和可擴(kuò)展性
新的功能可以很容易通過(guò)擴(kuò)展測(cè)量模式整合
全自動(dòng)
測(cè)量簡(jiǎn)單且自動(dòng)化程度高,如自動(dòng)更換物鏡等
自動(dòng)變焦三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus G5的主要技術(shù)參數(shù):
位移范圍(X軸、Y軸、Z軸):100mm×100mm×100mm
樣品表面結(jié)構(gòu):表面形貌Ra>9nm,Lc=2µm,取決于表面結(jié)構(gòu)
zui大樣品高度:100mm ~ 345mm
zui大樣品重量:30kg
*水平分辨率:0.44µm
*垂直分辨率:10nm
zui大掃描高度:22.5mm
zui大擴(kuò)展視野范圍:10000mm2
zui大單一方向掃描范圍:100mm
測(cè)量速度:170萬(wàn)個(gè)測(cè)量點(diǎn)/秒
zui小測(cè)量高度:0.01µm
zui大測(cè)量高度:22.5mm
zui大測(cè)量范圍:10000mm2
zui大測(cè)量形貌長(zhǎng)度:100mm
zui小可重復(fù)性:0.001µm
zui小測(cè)量粗糙度(Ra):0.03µm
zui小測(cè)量粗糙度(Sa):0.015µm
zui小測(cè)量半徑:1µm
zui小測(cè)量垂直角度:20°
zui大測(cè)量?jī)A斜角度:87°
自動(dòng)變焦 G5比InfiniteFocus G4擁有更*的性能
測(cè)量速度增加20倍
自動(dòng)設(shè)置
適用更多材料及更復(fù)雜表面的測(cè)量
更穩(wěn)定,更精密的測(cè)量
測(cè)量精度更高,尤其對(duì)于大范圍面積樣品的測(cè)量
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